Pompe de vid uscat pentru industria semiconductorilor

(English) Greener and more reliable with a lower cost of ownership

Our innovative range of dry pumps brings you cutting-edge technology designed to enhance your semiconductor and electronics manufacturing environment. Each range has been specifically designed to bring you advantages in environmental performance, reliability in harsh conditions and agility in light duty applications.

Pompele de vid uscat iXL sunt cele mai mici din gama pompelor destinate industriei semiconductorilor sau electronicelor, echipamente ce servesc sarcini ușoare precum procesele de manipulare a rolelor, aplicații de încărcare sau depuneri în plasmă.

Pompele iXL operează la un nivel redus de zgomot (55 dB(A)) și vibrații, furnizând viteze mari de pompaj la un consum extrem de redus de putere. Unul din modurile de operare (Green Mode) implică reducerea utilizării funcțiilor în perioadele de repaus (până la 96 % din puterea consumată), salvând atât costurile de operare cât și mediul din jur prin limitarea poluării.
În tabelul următor sunt prezentate specificațiile tehnice ale pompelor iXL120:

În tabelul următor sunt prezentate specificațiile tehnice ale pompelor iXL1000:

Informații despre comandă:

Pompă de vid – descriere/cod Referință comandă
iXL120 iXL120 pot fi furnizate cu o serie lunga de interfețe MicroTIM, elemente de cuplare la apa de răcire și multe alte opțiuni – în acest sens contactați un distribuitor Edwards pentru customizarea sistemului 
iXL1000 iXL1000 200-460 V 50/60 Hz A54153020
iXL1000N 200-460 V 50/60 Hz A54154020

Pompele de vid uscat Edwards iXM cu consum redus de energie pot aduce îmbunătățiri reale ale procesului, cu timp de funcționare crescut, impact redus asupra mediului și beneficii de cost pentru cele mai critice aplicații. iXM este o nouă gamă de pompe de vid uscat construite pentru producția verde; mecanismul roots eficient energetic a fost dezvoltat pentru a reduce semnificativ puterea de intrare la 1,3 kW, cu 60% mai mic decât generația anterioară de pompa, reducând impactul asupra mediului și scăzând costurile de deținere.

Tehnologia barierei de gaz și îmbunătățirea designului termic permite o rezistență la coroziune de patru ori mai mare decât produsele din seria iH. Caracteristicile avansate de manipulare a pulberii înseamnă că pompa iXM va oferi fiabilitate maximă și durată de viață extinsă a acesteia pentru procese de gravare pe mai multe straturi și consum redus de energie pentru procesele CVD.

În tabelul următor sunt prezentate specificațiile tehnice ale pompelor iXM:

Aplicații:

Pompele de vid uscat iXM sunt destinate utilizării în majoritatea aplicațiilor semiconductorilor (Gravare conductori, Gravare metale, HDP-CVD, PE-CVD, RTP, Surse de implantare, Difuzie Poly/Oxid ), reducând în același timp semnificativ puterea consumată.

Mai jos sunt prezentate diagrama performanțelor pompelor iXM și de asemenea dimensiunile acestora:

Informații despre comandă:

Pompele de vid uscat iXM sunt configurate în funcție de cerințele aplicației în care vor fi operate. În tabelul de mai jos se regăsesc o serie de versiuni standard ale pompelor iXM:

Cod Descriere pompă
A56106958 iXM200 200-230V 50/60Hz
A56106959 iXM200 380-460V 50/60Hz
A56126958 iXM600 200-230V 50/60Hz
A56126959 iXM600 380-460V 50/60Hz
A58240958 iXM1200 MK1 COMBI LV ST TMS
A58240959 iXM1200 MK1 COMBI HV ST TMS
A58244958 iXM1200 MK1 COMBI LV ST MM44
A58244959 iXM1200 MK1 COMBI HV ST MM44
A59244958 iXM1200 MK1 COMBI LV ST MM44 INT
A54260958 iXM1800 200-208 V 50/60 Hz (SM44)
A54260959 iXM1800 380-460 V 50/60 Hz (SM44)
A54264958 iXM1800 200-208 V 50/60 Hz (MM44)
A54264959 iXM1800 380-460 V 50/60 Hz (MM44)
A58260958 iXM1800 200-208 V 50/60 Hz (SM44)
A58260959 iXM1800 380-460 V 50/60 Hz (SM44)
NRF556958 iXM1800 200-230V 50/60Hz (SM44) HYNIX

Familia de pompe de vid uscat iXH reprezintă o evoluție a pompelor iH Edwards, stabilind noi standarde pentru aplicațiile dure, fiabilitate și costuri reduse de proprietate.

Edwards are gama perfectă de pompe de vid uscat de mare capacitate și boostere care pot face față cerințelor în continuă creștere privind fluxurile de gaz întâlnite în industriile FPD, solar, semiconductoarelor și LED-urilor. Pe lângă viteza de pompare ridicată, aceste pompe sunt echipate cu caracteristici pentru a asigura fiabilitate maximă asupra proceselor dure.

Printre caracteristicile prin care se remarcă, pompele de vid iXH dețin:

  • Viteze de pompare 100 m3/oră (59 cfm) până la 6.000 m3/oră (3.530 cfm)
  • Sistem de pompare conceput special pentru cele mai dure aplicații de astăzi
  • Consum redus de energie de operare + Modul verde capabil de a asigura creșterea de ~20 % a timpului dintre revizii
  • Întreținere zero între revizii
  • Amprentă mică

Cu un design modular, pompele iXH îndeplinesc cerințele proceselor de astăzi și au răspunsuri prestabilite la provocările ce apar în aplicațiile la care sunt supuse: high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN și EPI.

În următoarele tabele sunt prezentate caracteristicile tehnice și diagramele de performanță ale pompelor de vid iXH destinate proceselor dure:

În următoarele tabele sunt prezentate caracteristicile tehnice și diagramele de performanță (viteze de pompaj) ale pompelor iXH destinate aplicațiilor dure și cu cerințe ridicate de curgere:

Informații despre comandă:

Pompele de vid uscat iXH sunt configurate în funcție de cerințele aplicației în care vor fi operate. În acest sens contactați un furnizor Edwards pentru configurarea sistemului care să răspundă nevoilor aplicației dumneavoastră.